什么是电子特气？

电子特气是指用于半导体及相关电子产品生产的特种气体，应用范围十分广泛。按其本身化学成分可分为：硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。

电子特气在集成电路领域的应用

按在集成电路中不同应用途径可分为掺杂用气体、外延用气体、离子注入气、发光二极管用气、刻蚀用气体、化学气相沉积气和平衡气。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有超过30种。

电子特种气体涉及集成电路制造多个环节，对最终产品质量和性能影响重大。电子特气在多个集成电路制造环节具有重要作用，尤其在半导体薄膜沉积环节发挥不可取代的作用，是形成薄膜的主要原材料之一。

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无论气体是充当反应气体、载气还是保护气体等都在集成电路制造中发挥重要作用，稍有误差就可能对后道工艺造成重大影响。

关于七星流量计

七星流量计深耕流量测控流域40余年，研发生产了50多种质量流量测控产品，可精准测控从1SCCM到2000SLM的各类气体，针对半导体领域电子特气，七星流量计产品使用符合SEMI F20要求的高纯净不锈钢，经磨粒流研磨和机械抛光工艺获得的wetted surfaces可以达到小于10Ra的表面粗糙度，再应用电化学抛光等特种加工技术提高表面层铬铁比，产品耐腐蚀性得到明显改善，能够耐受各类高腐蚀性电子特气，可以满足流量产品长期使用的可靠性。

在常见腐蚀性电子特气的应用中，七星流量计通过了客户的长期验证，已成熟应用于需要精准测控气体的各大工业领域。